Difluorsilan

Difluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

Gewinnung und Darstellung

Difluorsilan kann durch Reaktion von Dichlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.

$\mathrm{3}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{b}{\mathrm{F}}_{\mathrm{3}}\mathrm{⟶}\mathrm{3}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}{\mathrm{F}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{b}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{3}}$

Es entsteht auch neben Trifluorsilan bei der Reaktion von Tetrafluorsilan mit Wasserstoff.

Eigenschaften

Difluorsilan ist ein farbloses Gas und hat den höchsten Siedepunkt alle Fluorsilane. Es zersetzt sich bei Temperaturen ab etwa 450 °C zu SiHF₃, SiF₄ und anderen Verbindungen.

Verwendung

Difluorsilan kann zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen verwendet werden.