Monofluorsilan

Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

Gewinnung und Darstellung

Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit Silicium oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.

$\mathrm{3}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}\mathrm{C}\mathrm{l}\mathrm{+}\mathrm{S}\mathrm{b}{\mathrm{F}}_{\mathrm{3}}\mathrm{⟶}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}\mathrm{F}\mathrm{+}\mathrm{S}\mathrm{b}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{3}}$

Eigenschaften

Monofluorsilan ist ein farbloses Gas. Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der Vorlage:Raumgruppe und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.

Verwendung

Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.