Wolframdisilicid

Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W₅Si₃.

Gewinnung und Darstellung

Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.

$\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{4}}\mathrm{+}\mathrm{W}{\mathrm{F}}_{\mathrm{6}}\mathrm{⟶}\mathrm{W}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{6}\mathrm{H}\mathrm{F}\mathrm{+}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}$

$\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{W}{\mathrm{F}}_{\mathrm{6}}\mathrm{+}\mathrm{3}{\mathrm{H}}_{\mathrm{2}}\mathrm{⟶}\mathrm{W}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{6}\mathrm{H}\mathrm{F}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{H}\mathrm{C}\mathrm{l}$

$\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}{\mathrm{H}}_{\mathrm{6}}\mathrm{+}\mathrm{W}{\mathrm{F}}_{\mathrm{6}}\mathrm{⟶}\mathrm{W}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{6}\mathrm{H}\mathrm{F}$

Eigenschaften

Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Vorlage:Raumgruppe.

Verwendung

Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.