Methylsilan

Methylsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der siliziumorganischen Verbindungen.

Darstellung

Methylsilan kann in quantitativer Ausbeute durch Umsetzung von Monochlorsilan mit einem Überschuss von Dimethylzink hergestellt werden.

$\mathrm{S}\mathrm{i}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}\mathrm{C}\mathrm{l}\mathrm{+}\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{(}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}{\mathrm{)}}_{\mathrm{2}}\underset{}{\overset{}{\to }}\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{(}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}\mathrm{)}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}\mathrm{+}\mathrm{C}\mathrm{l}\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{C}{\mathrm{H}}_{\mathrm{3}}$

Eigenschaften

Methylsilan ist ein extrem entzündbares, farbloses Gas (Flammpunkt ≤ −30 °C) mit widerlichem Geruch. Es ist schwerer als Luft (relative Gasdichte= 1,606), bildet mit Luft explosive Gemische (untere Explosionsgrenze bei 1,3 Vol.-% bzw. 25 g·m⁻³, obere Explosionsgrenze bei 88,9 Vol.-% bzw. 1705 g·m⁻³) und kann sich an der Luft selbst entzünden. Die Zündtemperatur wurde mit 160 °C bestimmt. Der Stoff fällt somit in die Temperaturklasse T4. Es zersetzt sich bei Erhitzung.

Verwendung

Methylsilan wird bei der chemischen Gasphasenepitaxie (VPE) von Germanium-dotierten Siliciumcarbidschichten (Ge:SiC) verwendet.

Verwandte Verbindungen

• Dimethylsilan
• Trimethylsilan
• Tetramethylsilan