Hexachlordisilan

Hexachlordisilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Hexachlordisilan kann (wie alle Perchlorsilane Si_nCl_2n+2 mit n = 2-6) durch Reaktion von Calciumsilicid mit Chlor bei 230 bis 250 °C gewonnen werden.

$\mathrm{C}\mathrm{a}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{4}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{⟶}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{6}}\mathrm{+}\mathrm{C}\mathrm{a}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}$

Ebenfalls möglich ist die Darstellung durch Reaktion von Siliciumdichlorid oder Silicium mit Chlor.

$\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{+}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{⟶}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{6}}$

$\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{+}\mathrm{3}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{2}}\mathrm{⟶}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}\mathrm{C}{\mathrm{l}}_{\mathrm{6}}$

Eigenschaften

Hexachlordisilan ist eine farblose, an Luft rauchende, hydrolyseempfindliche klare Flüssigkeit.

Verwendung

Ultrahochreines Hexachlordisilan wird in der Halbleiterindustrie für die chemische Gasphasenabscheidung von siliciumhaltigen funktionellen Schichten, bei sehr niedrigen Temperaturen, eingesetzt. Anlagen zur Herstellung stehen zum Beispiel im badischen Rheinfelden. Hexachlordisilan ist Ausgangsstoff zur Erzeugung von Dodecachlorneopentasilan (Si₅Cl₁₂) und von Dodecachlorcyclohexasilane (Si₆Cl₁₂). Diese beiden Verbindungen können leicht zu den entsprechenden Hydrosilanen Neopentasilan (Si₅H₁₂) und Cyclohexasilan (Si₆H₁₂) hydriert werden, welche als Präkursoren für druckbare Elektronik dienen. Weiterhin wird Hexachlordisilan zur Erzeugung von Trichlorsilylanionen der Hauptgruppenelemente [E(SiCl₃)_n]⁻ (E = B, C, Si, Ge, P, S) verwendet. Diese Anionen können als nicht-nukleophile oder schwach koordinierende Anionen verwendet werden. Außerdem dienen sie als nukleophile Übertragungsreagenzien für Trichlorsilylgruppen und für Hauptgruppenelement-Ionen.