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- …ef name="Frühauf">{{Literatur |Autor=Joachim Frühauf |Titel=Werkstoffe der Mikrotechnik |Verlag=Carl Hanser Verlag |Datum=2005 |ISBN=978-3-446-22557-2 |Online={{Go …5 KB (623 Wörter) - 11:11, 11. Dez. 2024
- …her Pfeifer und Roland Werthschützky |Titel=Elektromechanische Systeme der Mikrotechnik und Mechatronik: Dynamischer Entwurf – Grundlagen und Anwendungen |Auflage= |Titel=Elektromechanische Systeme der Mikrotechnik und Mechatronik: Dynamischer Entwurf – Grundlagen und Anwendungen …15 KB (1.882 Wörter) - 19:34, 3. Feb. 2025
- |Titel = Elektromechanische Systeme in Mikrotechnik und Mechatronik …9 KB (1.173 Wörter) - 06:56, 29. Aug. 2024
- …s, Günther Pfeifer, Roland Werthschützky: ''Elektromechanische Systeme der Mikrotechnik und Mechatronik. Dynamischer Entwurf – Grundlagen und Anwendungen.'' 2. Auf …9 KB (1.176 Wörter) - 19:20, 1. Okt. 2024
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- * [[Chemische Gasphasenabscheidung]] (LPCVD bzw. PECVD) in der Mikrotechnik: …16 KB (1.998 Wörter) - 20:37, 13. Aug. 2024
- …aphy}}, oft als ''{{lang|en|e-beam lithography}}'' abgekürzt) ist in der [[Mikrotechnik|Mikro-]] und [[Halbleitertechnik]] ein spezielles Verfahren zur [[Strukturi …32 KB (4.199 Wörter) - 12:27, 1. Dez. 2024
- Auch in der [[Mikroelektronik]] und [[Mikrotechnik]] wird Ethin eingesetzt. Hier dient es z. B. zum [[Chemische Gasphasen …39 KB (5.227 Wörter) - 11:51, 20. Dez. 2024
- …Jahr 2006 nach Möglichkeiten, Insekten schon während der Metamorphose mit Mikrotechnik auszustatten und sie als militärische „Insekten-[[Cyborg]]s“ einzusetzen.<r …81 KB (10.741 Wörter) - 00:42, 19. Jan. 2025