BeschreibungImmersion lithography.svg	Illustration of en:Immersion lithography Polski: mikroskopia imersyjna
Datum	10. Dezember 2010, 00:53 (UTC)
Quelle	Immersion lithography illustration.svg
Urheber	Immersion lithography illustration.svg: Oleg Alexandrov derivative work: Marek M
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• {F|Immersion_lithography_illustration.svg|-}} licensed with PD-self
  • 2007-07-20T02:52:48Z Oleg Alexandrov 433x290 (8417 Bytes) tweak
  • 2007-07-20T02:50:25Z Oleg Alexandrov 433x290 (7148 Bytes) {{Information |Description= Illustration of [[:en:Immersion lithography]] |Source=self-made with [[:en:Inkscape]] |Date= ~~~~~ |Author= [[User:Oleg Alexandrov|Oleg Alexandrov]] }} {{PD-self}} [[Category:Microlithography]]