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…([[Linse (Optik)|Linsen]], [[Spiegel]], [[Prisma (Optik)|Prismen]]) der [[Mikrosystemtechnik]], deren [[Abmessung]]en nur wenige Größenordnungen über der [[Wellenlänge] …

In der [[Mikroelektronik]] und [[Mikrosystemtechnik]] wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei de …

…und gut bekanntes Verfahren in der [[Halbleitertechnik|Halbleiter-]] und [[Mikrosystemtechnik]]. Daran angelehnt kann auch eine konzentrierte Fluorwasserstofflösung (z.& [[Kategorie:Mikrosystemtechnik]] …

In der [[Mikrosystemtechnik]] wird Kaliumhydroxid zum selektiven [[anisotropes Nassätzen von Silizium|a …

…n Strukturierungsverfahren aus der [[Halbleitertechnik|Halbleiter-]] und [[Mikrosystemtechnik]]. Das Verfahren nutzt [[Röntgenstrahlen]], um ein geometrisches Muster von …u. a. wichtig für lange [[Trockenätzen|Ätzprozesse]]), wie sie in der Mikrosystemtechnik beim [[LIGA-Verfahren]] als sogenannte ''Röntgentiefenlithographie'' Anwend …

…he-Oberflächenwellen-Filter]] (SAW-Filter), in der [[Mikrosystem (Technik)|Mikrosystemtechnik]] (MEMS) miniaturisierte Filter und die im Rückkoppelkreis in Resonanzkreis …

Da in der [[Mikrosystemtechnik]] oft solche Gräben mit steilen Seitenwänden vonnöten sind und man die Kost [[Kategorie:Mikrosystemtechnik]] …

…hias Albert, Günter Sadowski}}</ref> oder [[Wolfram]], z.&nbsp;B. in der [[Mikrosystemtechnik|Mikrostrukturierung]] von Oberflächen. Dort wird häufig eine mit [[Ammonium …

In der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird das Verfahren vor allem für die Herstellung von dünnen Schichten einge …rlesungsskript Dünnschichttechnik |wayback=20120201095434}} – Institut für Mikrosystemtechnik, Freiburg (PDF-Datei; 2,9&nbsp;MB) …

…ssraten, bis hinunter in den Bereich von Nanolitern pro Minute, werden auf Mikrosystemtechnik basierende Sensoren eingesetzt. Diese arbeiten in der Regel mit thermischen …

…chen. Dieses Prinzip findet bei hoch präzisen Positionieraufgaben in der [[Mikrosystemtechnik]] genauso seinen Einsatz, wie bei der Herstellung von günstigen Produkten… …

* Nutzung in anderen Bereichen als der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik}} Auch in der Mikrosystemtechnik werden gezielt Bereiche bzw. Schichten dotiert, um die Materialeigenschafte …

…st eine der zentralen Methoden der [[Halbleitertechnik|Halbleiter-]] und [[Mikrosystemtechnik]] zur Herstellung von [[Integrierte Schaltung|integrierten Schaltungen]] un …ie nach der Entwicklung zu erhalten und so neue Anwendungen im Bereich der Mikrosystemtechnik zu ermöglichen, beispielsweise für die Herstellung von 3D-Strukturen<ref>{{ …

…ist ein wichtiges Material in der [[Halbleitertechnik|Halbleiter-]] und [[Mikrosystemtechnik]]. Hauptsächlich wird es als Isolations- und Passivierungsmaterial eingeset …

Die Mikrofluidik ist das Teilgebiet der [[Mikrosystemtechnik]], das die Umströmung von Objekten oder Durchströmungen von Kanälen, bei Ab …

…gkeit|Leitfähigkeit]] oder mechanische Eigenschaften für Bauelemente der [[Mikrosystemtechnik]] zu beeinflussen. …

…{Literatur |Autor=Friedemann Völklein,Thomas Zetterer |Titel=Praxiswissen Mikrosystemtechnik |Verlag=Vieweg+Teubner |Ort=Wiesbaden |Datum=2006 |ISBN=978-3-528-13891-2… …

…twicklung]] zu der starken [[Basen (Chemie)|Base]] [[Kalilauge]]. In der [[Mikrosystemtechnik]] wird es zum selektiven [[anisotrop]]en [[Ätzen]] von einkristallinem [[Si …

…d der Technik und aktuelle Entwicklungen |werk=imtek.de |hrsg=Institut für Mikrosystemtechnik IMTEK |format=PDF |abruf=2019-06-23}}</ref> siehe [[Bio-Brennstoffzelle#Blu …