Cobaltdisilicid

Cobaltdisilicid ist eine chemische Verbindung des Cobalts aus der Gruppe der Silicide.

Gewinnung und Darstellung

Cobaltdisilicid kann durch Reaktion von Cobalt mit Silicium gewonnen werden.

$\mathrm{C}\mathrm{o}\mathrm{+}\mathrm{2}\mathrm{S}\mathrm{i}\mathrm{⟶}\mathrm{C}\mathrm{o}\mathrm{S}{\mathrm{i}}_{\mathrm{2}}$

Eigenschaften

Cobaltdisilicid ist ein grauer, geruchloser Feststoff, der praktisch unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine kubische Kristallstruktur vom Fluorittyp mit der Vorlage:Raumgruppe.

Verwendung

Cobaltdisilicid wird vielfältig in der chemischen Forschung eingesetzt.

In der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird Cobaltsilicid für die niederohmige Kontaktierung von Silicium bei der Herstellung von hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) in 250-nm- bis 90-nm-Technik verwendet. Es löste zunächst das gängige Titandisilicid ab, wurde dann ab dem 90-nm-Technologieknoten aufgrund von physikalischen Nachteilen zunehmend durch Dinickelsilicid ersetzt (siehe Salicide-Prozess).

Verwandte Verbindungen

Neben Cobaltdisilicid sind mit dem orthorhombischen Co₂Si, dem kubischen CoSi und dem kubischen CoSi₃ mindestens drei weitere Cobaltsilicide bekannt. Zwei weitere, Co₅Si₃ und Co₃Si, sind noch nicht genau untersucht.